Plasma-assisted deposition of the Ga-doped ZnO TCF by using a roll-to-roll method (2) / ロール・ツー・ロール方式によるGZO透明導電膜のプラズマ支援堆積 (2)
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :3973
- Subject
18p-PB5-16 roll-to-toll transparent conducting film zinc oxide ロール・ツー・ロール 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 透明導電膜 酸化亜鉛 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613