Extraction of Fourier coefficients for the imaging ellipsometer / 位相子回転型イメージングエリプソメータのデータ処理
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :819
- Subject
10a-PA2-4 Fourier coefficients imaging ellipsometer least squars method イメージングエリプソメータ フーリエ級数 光・フォトニクス 光計測技術・機器 干渉計測,偏光計測 最小二乗法 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613