Optical constant measurement of the porous silicon using imaging ellipsometry / イメージングエリプソメトリーによるポーラスシリコンの光学定数測定
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :1083
- Subject
10p-PB4-13 imaging ellipsometry optical constant porous silicon イメージングエリプソメトリー ポーラスシリコン 光・フォトニクス 光学定数 半導体光デバイス 半導体光物性,現象 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613