Numerical simulation on oxygen transfer in Si melt under a cusp-shaped magnetic field using a 3D global model / カスプ磁場印加CZ法におけるシリコン融液中の酸素輸送の3次元数値解析
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2019, :3670
- Subject
18a-C212-10 CZ method CZ法 cusp-shaped magnetic field silicon カスプ磁場 シミュレーション シリコン 結晶工学 結晶評価,不純物・結晶欠陥 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613