IBAD法による超硬基板上の窒化チタン薄膜の機械的特性および密着性 / Mechanical properties and adhesion of titanium nitride thin films on cemented carbide substrates by IBAD method
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2023, :74
- Subject
TiCN TiN chemical bond state flash-deposition mechanical propertie multilayer フラッシュ蒸着法 化学結合状態 多層膜 機械的特性 炭窒化チタン 窒化チタン - Language
- Japanese