In-situ measurement of Deposited Film Thickness and Electron density with Double Curling Probes / ダブルカーリングプローブによる堆積膜厚と電子密度のその場同時計測
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2021, :1438
- Subject
18p-Z17-7 curling probe deposited film in-situ measurements カーリングプローブ プラズマエレクトロニクス プラズマ生成・診断 プロセスモニタリング技術 同時その場計測 堆積膜 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613