Effects of GaN-cap on C-V characteristics of AlGaN/GaN MOS structures / GaNキャップ層がAlGaN/GaN MOS構造のC-V特性に与える影響
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2017, :3152
- Subject
16a-P4-10 GaN GaN-cap GaNキャップ 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術 半導体 窒化ガリウム 窒化物半導体各種デバイス,プロセス技術・評価 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613