Structural analysis of nanocomposite AlN films deposited by reactive coaxial arc plasma deposition / 反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるナノコンポジットAlN薄膜の構造解析
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2017, :3429
- Subject
8p-PB1-14 AlN III-V族窒化物結晶 nanocomposite ナノコンポジット ナノ構造 結晶工学 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613