Multi-gate devices for the 32 nm technology node and beyond
- Resource Type
- Article
- Authors
- Collaert, N.; De Keersgieter, A.; Dixit, A.; Ferain, I.; Lai, L.-S.; Lenoble, D.; Mercha, A.; Nackaerts, A.; Pawlak, B.J.; Rooyackers, R.; Schulz, T.; San, K.T.; Son, N.J.; Van Dal, M.J.H.; Verheyen, P.; von Arnim, K.; Witters, L.; De Meyer, K.; Biesemans, S.; Jurczak, M.
- Source
- In Solid State Electronics September 2008 52(9):1291-1296
- Subject
- Language
- ISSN
- 0038-1101