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요약정보
纳米金刚石薄膜的光学性能研究 / OPTICAL PROPERTIES OF NANO-CRYSTALLINE DIAMOND FILMS
Resource Type
Academic Journal
Authors
蒋丽雯
;
王林军
;
刘健敏
;
阮建锋
;
苏青峰
;
崔江涛
;
吴南春
;
史伟民
;
夏义本
;
JIANG Li-Wen
;
WANG Lin-Jun
;
LIU Jian-Ming
;
RUAN Jian-Feng
;
SU Qing-Feng
;
CUI Jiang-Tao
;
WU Nan-Chun
;
SHI Wei-Ming
;
XIA Yi-Ben
Source
红外与毫米波学报 / JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
. 25(3):195-198
Subject
纳米金刚石薄膜
光学透过性
热丝化学气相法
表面粗糙度
Language
Chinese
ISSN
1001-9014
Online Access
Web of Science
Scopus
JCR 저널정보
Find it @ DONGA
초록
用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、建模、拟合获得了表征薄膜光学性质的n,k值.结果表明薄膜的晶粒尺寸在100nm以下,表面粗糙度仅为21nm;厚度为3.26(m薄膜在632.8nm波长处的透过率为25%,1100nm波长处达到50%.采用直接光跃迁机制估算得到纳米金刚石薄膜的光学能隙(Eg)为4.3eV.
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