一项值得重视的低压低功耗超高速集成电路技术--TFSOI技术 / TFSOI Technology A Deservedly Important Technology for Low-voltage, Low-power, High Speed Integration
- Resource Type
- Academic Journal
- Authors
- 沈文正; SHEN Wenzheng
- Source
- 世界科技研究与发展 / WORLD SC1-TECH R & D FEBRUARY. 21(4):39-46
- Subject
- 薄膜SOI SOIMOSFET 低电压 低功耗 高速
- Language
- Chinese
- ISSN
- 1006-6055
本文详细地分析了薄膜SOI器件的特性并指出该器件的许多特性是其固有的.这些特性使得SOI技术对于高可靠、低压、低功耗、高速系统具有极大的吸引力.同时,该技术也适用于千兆位DRAM、片上系统、以及抗辐射加固电路、微电子机械系统、模拟/混合信号电路、智能功率集成电路、便携式通讯系统、高温电子学和量子器件等.因此,SOI技术可能成为21世纪最具竞争力的半导体集成电路技术.