基于蒙特卡罗法的MEMS测力计不确定性分析 / Uncertainty analysis of MEMS force gauges based on Monte Carlo method
- Resource Type
- Academic Journal
- Source
- 光学精密工程 / Optics and Precision Engineering. 26(9):2289-2293
- Subject
MEMS测力计 椭圆积分解 不确定性 蒙特卡罗法 - Language
- Chinese
- ISSN
- 1004-924X