金属铌表面Ar/O2等离子体在线清洗的实验研究 / Experimental study on on-line cleaning of Ar/O2 plasmaon metal niobium surface
- Resource Type
- Academic Journal
- Source
- 四川大学学报(自然科学版) / Journal of Sichuan University(Natural Science Edition). 57(6):1147-1151
- Subject
等离子体清洗 在线监测 功函数 残余气体 - Language
- Chinese
- ISSN
- 0490-6756