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1 . Academic Journal
PMOS junction optimization for 3D NAND FLASH memory with CMOS under array
저자
by
Liao, Jeng-Hwa
;
Ko, Zong-Jie
;
Lin, Hsing-Ju
;
Hsieh, Jung-Yu
;
Yang, Ling-Wu
, et al.
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In
Solid State Electronics
April 2023 202
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7 . Conference
Common Source Line-to-Word Line Short Improvement by Eliminating SLT Sidewall Notch in 3D NAND Deep Trench Patterning
저자
by
Chung, Yao-An
;
Chu, Yuan-Chieh
;
Chang, Chih-Chin
;
Lee, Hong-Ji
;
Lian, Nan-Tzu
, et al.
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2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2023 34th Annual. :1-4 May, 2023
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7 . Conference
Post-Etch Yield Killer Defects in 3D NAND High Aspect Ratio Etching Process
저자
by
Chang, Chih-Chin
;
Hsiao, Ching-Hung
;
Chen, Yi-Che
;
Wang, Ching-Hung
;
Chung, Yao-An
, et al.
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2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2023 34th Annual. :1-4 May, 2023
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7 . Academic Journal
Improvement of cell reliability by floating gate implantation on 1Xnm NAND flash memory
저자
by
Liao, Jeng-Hwa
;
Ko, Zong-Jie
;
Lin, Yu-Min
;
Lin, Hsing-Ju
;
Hsieh, Jung-Yu
, et al.
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In
Solid State Electronics
August 2018 146:39-43
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7 . Academic Journal
Properties of N-rich Silicon Nitride Film Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
저자
by
Jhang, Pei-Ci
;
Lu, Chi-Pin
;
Shieh, Jung-Yu
;
Yang, Ling-Wu
;
Yang, Tahone
, et al.
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In
Solid State Electronics
July 2017 133:10-16
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7 . Conference
Machine learning Assists on High Aspect Ratio Slit Trench Etching in 3D NAND
저자
by
Chang, Yu-Fan
;
Lee, Hong-Ji
;
Chou, Fu-Hsing
;
Lee, Shih-Chin
;
Chung, Yao-An
, et al.
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2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2022 33rd Annual. :1-4 May, 2022
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7 . Conference
Improvement of Twisting and Line-Edge Roughness of 3D NAND Deep Trench Etching on Yield Enhancement : AEPM: Advanced Equipment Processes and Materials
저자
by
Chung, Yao-An
;
Chiu, Yuan-Chieh
;
Chang, Yu-Fan
;
Lee, Hong-Ji
;
Lian, Nan-Tzu
, et al.
소스
2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2022 33rd Annual. :1-4 May, 2022
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RefWorks
7 . Conference
Width Walk Control in 3D NAND Staircase Structure Etching
저자
by
Hsiao, Ching-Hung
;
Cheng, Chen-Yu
;
Lee, Hong-Ji
;
Lian, Nan-Tzu
;
Han, Tzung-Ting
, et al.
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2021 32nd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2021 32nd Annual SEMI. :1-4 May, 2021
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7 . Conference
Study of Plasma Ash Rate Enhancement by Machine Learning Models for TAT Improvement
저자
by
Jheng, Shao-Lou
;
Wu, Jyunhong
;
Yang, Zusing
;
Chiu, Yuan-Chieh
;
Wu, Ming-Tsung
, et al.
소스
2021 32nd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2021 32nd Annual SEMI. :1-4 May, 2021
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7 . Conference
Improvement of Multi-lines bridge Defect Classification by Hierarchical Architecture in Artificial Intelligence Automatic Defect Classification
저자
by
Lin, Bing-Sheng
;
Cheng, Jung-Syuan
;
Liao, Hsiang-Chou
;
Yang, Ling-Wu
;
Yang, Tahone
, et al.
소스
2020 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) Semiconductor Manufacturing (ISSM, 2020 International Symposium on. :1-4 Dec, 2020
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