공지
도서관 자료실 휴실 안내(10. 1., 10. 3., 10. 9.)
2024학년도 도서관 전자정보박람회 경품 추첨 결과 및 수령 안내
2024학년도 2학기 도서관 정보활용교육 안내
학술 생성형 AI 서비스 「tlooto」 시범 운영 안내
원문복사·상호대차 이용안내
이전
다음
오늘 하루 닫기
공지사항 닫기
DAU Library
중앙도서관
동아대학교
로그인
교외접속
OFF
ENG
검색창 열기
검색"
자료검색
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
학술DB
온라인 강좌
e-Learning
INSPIRE
KOCW
해외OCW/MOOC 리스트
전자책
컬렉션
신착도서
인기도서
추천도서
청춘의 책탑
북 카드뉴스
연구도서
연구학습지원
학술지평가정보
학과별 주제 가이드
표절예방/연구윤리
참고문헌 관리
학위논문 제출
원문복사/상호대차
신청 안내
의학, 간호학 학술지 신청
의학, 간호학 학위논문 신청
신청 현황 조회
이용교육
이용교육 안내
이용교육 신청
그룹교육 신청
도서관 서비스
자료 이용
대출/재대출/반납
캠퍼스간 대출
희망도서 신청
보존서고자료 신청
우선정리 신청
시설 이용
그룹스터디실 이용
열람실 이용
타기관 이용(자료열람)
타기관 이용(자료열람) 가이드
타기관 이용(자료열람) 신청
타교 자료열람 신청 조회
타기관 이용(열람실 이용)
타기관 이용(열람실 이용) 가이드
타기관 이용(열람실 이용) 신청
타기관 이용(열람실 이용) 조회
이용자별 서비스
학부생
대학원생
교직원
특별회원
기타
모바일 서비스
모바일 홈페이지
모바일 좌석배정
모바일 이용증
무선랜 안내
교외접속 서비스
서비스 찾기
도서관 안내
도서관 소개
개요
도서관 연혁
도서관 현황
규정
조직도 및 구성원
도서관 이용시간
층별 안내
자료 기증
기증 안내
기증자 목록
사이버 기증 문고
찾아오시는 길
커뮤니티
공지사항(일반)
공지사항(학술DB)
Q&A
Q&A
FAQ
서평쓰기
동아인 우수서평
행사 후기
각종 서식자료
홈페이지 오류문의
My Library
대출/재대출/예약 조회
대출 및 재대출
대출 기록
캠퍼스간 대출 기록
신청자료 조회
희망도서 신청 조회
보존서고자료 신청 조회
우선정리 신청 조회
서가부재도서 신청 조회
원문복사 신청 조회
그룹스터디실 신청 조회
이용교육 신청 조회
타기관 이용 조회
타교 자료열람 신청 조회
타교 열람실 신청 조회
내 서재
나의 서평
개인정보관리
개인정보관리
개인공지사항
자주 찾는 메뉴
대출 및 재대출
내 서재
FAQ
홈페이지 오류문의
메뉴 전체보기
학술논문
Home
>
자료검색
>
학술논문
>
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
전체
ISSN
논문 제목
저널명
저자
엡스코 구버전 바로가기
발행년도
-
(예 : 2010-2015)
'
학술논문
' 에서의 검색결과
92
건 | 목록
30~40
전체선택
Relevance
Date Newest
Date Oldest
5
10
20
30
40
50
E-Mail
EndNote
RefWorks
31 .
Common Source Line-to-Word Line Short Improvement by Eliminating SLT Sidewall Notch in 3D NAND Deep Trench Patterning
저자
by
Yao-An Chung
;
Yuan-Chieh Chu
;
Chih-Chin Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Post-Etch Yield Killer Defects in 3D NAND High Aspect Ratio Etching Process
저자
by
Chih-Chin Chang
;
Ching-Hung Hsiao
;
Yi-Che Chen
;
Ching-Hung Wang
;
Yao-An Chung
, et al.
소스
2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Machine learning Assists on High Aspect Ratio Slit Trench Etching in 3D NAND
저자
by
Yu-Fan Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Fu-Hsing Chou
;
Shih-Chin Lee
;
Yao-An Chung
, et al.
소스
2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Improvement of Twisting and Line-Edge Roughness of 3D NAND Deep Trench Etching on Yield Enhancement : AEPM: Advanced Equipment Processes and Materials
저자
by
Yao-An Chung
;
Yuan-Chieh Chiu
;
Yu-Fan Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Plasma Etching Pre-treatment for a TEM Lamella Preparation of 3D NAND with High Aspect Ratio
저자
by
Pei-Ling Hsu
;
Yu-Chih Chen
;
Chin-Chih Yeh
;
Chun-Hung Lin
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
International Symposium for Testing and Failure Analysis
.
Open Access (OpenAIRE)
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Study of Plasma Ash Rate Enhancement by Machine Learning Models for TAT Improvement
저자
by
Shao-Lou Jheng
;
Jyunhong Wu
;
Zusing Yang
;
Yuan-Chieh Chiu
;
Ming-Tsung Wu
, et al.
소스
2021 32nd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Word Line Defect Localization Methods in 2D NAND Flash
저자
by
Pei-Ning Hsu
;
Chung-Huan Chang
;
Kuang-Chao Chen
;
Chih-Yuan Lu
;
Nan-Tzu Lian
, et al.
소스
International Symposium for Testing and Failure Analysis
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Oval-Shaped OP-Layer Hole Etching: Shape Deformation, Local Arcing, and Hole Bridging Improvements
저자
by
Nan-Tzu Lian
;
Tahone Yang
;
Yao-Yuan Chang
;
Zusing Yang
;
Hong-Ji Lee
, et al.
소스
2020 31st Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Impact of Asymmetric Memory Hole Profile on Silicon Selective Epitaxial Growth in 3D NAND Memory : AEPM: Advanced Equipment Processes and Materials
저자
by
Zusing Yang
;
Kuang-Chao Chen
;
Yao-Yuan Chang
;
Hong-Ji Lee
;
Ming-Tsung Wu
, et al.
소스
2020 31st Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
37 .
Applying a Significant Protection Layer on Double Ex Situ Lift-out TEM Specimens to Protect Against Ion Beam Impact
저자
by
Nan-Tzu Lian
;
Chun-Hung Lin
;
Kuang-Chao Chen
;
Iris Hsieh
;
Chao-Kun Chen
, et al.
소스
International Symposium for Testing and Failure Analysis
.
요약보기
내보내기
E-Mail
EndNote
RefWorks
이전
1
2
3
4
5
6
…
10
다음
메일 발송
로그인후 이용해주세요.
이동하기
전체 메뉴 보기
전체메뉴 닫기
자료검색
통합검색
소장자료
학술논문
전자저널
학술DB
온라인 강좌
e-Learning
INSPIRE
KOCW
해외OCW/MOOC 리스트
전자책
컬렉션
신착도서
인기도서
추천도서
청춘의 책탑
북 카드뉴스
연구도서
연구학습지원
학술지평가정보
학과별 주제 가이드
표절예방/연구윤리
참고문헌 관리
학위논문 제출
원문복사/상호대차
신청 안내
의학, 간호학 학술지 신청
의학, 간호학 학위논문 신청
신청 현황 조회
이용교육
이용교육 안내
이용교육 신청
그룹교육 신청
도서관 서비스
자료 이용
대출/재대출/반납
캠퍼스간 대출
희망도서 신청
보존서고자료 신청
우선정리 신청
시설 이용
그룹스터디실 이용
열람실 이용
타기관 이용(자료열람)
타기관 이용(자료열람) 가이드
타기관 이용(자료열람) 신청
타교 자료열람 신청 조회
타기관 이용(열람실 이용)
타기관 이용(열람실 이용) 가이드
타기관 이용(열람실 이용) 신청
타기관 이용(열람실 이용) 조회
이용자별 서비스
학부생
대학원생
교직원
특별회원
기타
모바일 서비스
모바일 홈페이지
모바일 좌석배정
모바일 이용증
무선랜 안내
교외접속 서비스
서비스 찾기
도서관 안내
도서관 소개
개요
도서관 연혁
도서관 현황
규정
조직도 및 구성원
도서관 이용시간
층별 안내
자료 기증
기증 안내
기증자 목록
사이버 기증 문고
찾아오시는 길
커뮤니티
공지사항(일반)
공지사항(학술DB)
Q&A
Q&A
FAQ
서평쓰기
동아인 우수서평
행사 후기
각종 서식자료
홈페이지 오류문의
My Library
대출/재대출/예약 조회
대출 및 재대출
대출 기록
캠퍼스간 대출 기록
신청자료 조회
희망도서 신청 조회
보존서고자료 신청 조회
우선정리 신청 조회
서가부재도서 신청 조회
원문복사 신청 조회
그룹스터디실 신청 조회
이용교육 신청 조회
타기관 이용 조회
타교 자료열람 신청 조회
타교 열람실 신청 조회
내 서재
나의 서평
개인정보관리
개인정보관리
개인공지사항