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1 . Academic Journal
On the low temperature limits for cryogenic etching: A quasi in situ XPS study
저자
by
Cemin, Felipe
;
Girard, Aurélie
;
Cardinaud, Christophe
.
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In
Applied Surface Science
15 November 2023 637
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5 . Academic Journal
Towards a reliable assessment of charging effects during surface analysis: Accurate spectral shapes of ZrO2 and Pd/ZrO2 via X-ray Photoelectron Spectroscopy
저자
by
Bargiela, Pascal
;
Fernandez, Vincent
;
Cardinaud, Christophe
;
Walton, John
;
Greiner, Mark
, et al.
소스
In
Applied Surface Science
15 November 2021 566
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7 . Academic Journal
Fluorine-based plasmas: Main features and application in micro-and nanotechnology and in surface treatment
저자
by
Cardinaud, Christophe
.
소스
In
Comptes rendus - Chimie
August 2018 21(8):723-739
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Full Text (ScienceDirect O/A)
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3 . Conference
PMMA removal selectivity to PS using dry etch approach for sub-10nm node applications
저자
by
Sarrazin, Aurelien
;
Pimenta-Barros, Patricia
;
Posseme, Nicolas
;
Barnola, Sebastien
;
Gharbi, Ahmed
, et al.
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2015 China Semiconductor Technology International Conference Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2015 China. :1-3 Mar, 2015
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7 . Academic Journal
Roughness and chemistry of silicon and polysilicon surfaces etched in high-density plasma: XPS, AFM and ellipsometry analysis
저자
by
Rolland, Laëtitia
;
Vallée, Christophe
;
Peignon, Marie-Claude
;
Cardinaud, Christophe
.
소스
In
Applied Surface Science
2000 164(1):147-155
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6 . Academic Journal
Plasma etching: principles, mechanisms, application to micro- and nano-technologies
저자
by
Cardinaud, Christophe
;
Peignon, Marie-Claude
;
Tessier, Pierre-Yves
.
소스
In
Applied Surface Science
2000 164(1):72-83
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5 . Academic Journal
Combined analysis methods for investigating titanium and nickel surface contamination after plasma deep etching.
저자
by
Ettouri, Rim
;
Tillocher, Thomas
;
Lefaucheux, Philippe
;
Boutaud, Bertrand
;
Fernandez, Vincent
, et al.
소스
Surface & Interface Analysis: SIA
. Feb2022, Vol. 54 Issue 2, p134-147. 14p.
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7 . Academic Journal
Etching of iron and ironâ€"chromium alloys using ICP-RIE chlorine plasma.
저자
by
Le Dain, Guillaume
;
Laourine, Feriel
;
Guilet, Stéphane
;
Czerwiec, Thierry
;
Marcos, Grégory
, et al.
소스
Plasma Sources Science & Technology
. Sep2021, Vol. 30 Issue 9, p1-18. 18p.
Full Text (IOP)
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7 . Academic Journal
Investigation of organic precursors and plasma mixtures allowing control of carbon passivation when etching HgCdTe in hydrocarbon-based inductively coupled plasmas.
저자
by
Piet, Jordan
;
Faider, Wilfrid
;
Girard, Aurélie
;
Boulard, François
;
Cardinaud, Christophe
.
소스
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Sep2020, Vol. 38 Issue 5, p1-14, 14p
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RefWorks
7 .
Evaluation of Bosch processing at cryogenic temperatures
저자
by
Nos, Jack
;
Tillocher, T.
;
Lefaucheux, Philippe
;
Dussart, Rémi
;
Girard, Aurélie
, et al.
소스
Plasma Etch and Strip in Microelectronics
Plasma Etch and Strip in Microelectronics, Jun 2023, Grenoble, France
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