본 논문에서는 β-Ga2O3 layer 위에 Ag2O 박막을 증착한 Ag2O/β-Ga2O3 이종 접합 구조, CuO 박막을 증착하여 CuO/β-Ga2O3 이종 접합 구조를 가지는 Solar-Blind Self-powered 광검출기를 제작하였다. 제작된 광검출기는 높은 광 응답도(Responsivity)를 나타냈고 노후와 반복 사용에 대해 높은 안정성을 보였다. Ag2O/β-Ga2O3 광검출기의 Ag 상부 전극의 두께를 조절함으로써 0 바이어스 전압이 인가된 상태에서, 100 μW/cm2 광 강도의 UVC (254 nm) 파장 아래 25.65 mA/W의 높은 광 응답도(Responsivity)를 나타냈고, 광 검출능 (Detectivity)는 6.10 × 1011 Jones, 응답 특성인 상승 시간 및 감쇠 시간은 각각 108, 80 ms로 측정됐다. 또한, 후 열처리를 통해 내부 전위를 조절한 CuO/β-Ga2O3 이종 접합 기반의 광검출기는 0 바이어스 전압이 인가된 상태에서, 100 μW/cm2 광 강도의 UVC (254 nm) 파장 아래 30.3 mA/W의 광 응답도를 나타냈고, 광 검출능은 1.10 × 1012 Jones, 응답 특성인 상승 시간 및 감쇠 시간은 각각 12, 14 ms로 측정됐다. 또한, PIN 구조인 Ag2O, CuO/I-Ga2O3/Ga2O3 구조의 광검출기를 제작하여 광 응답도 특성을 최대 64% 향상하였다. 이러한 결과를 통해, 본 연구는 Self-powered 광검출기의 광 반응 특성은 상부 전극과 내부전위의 조절, PIN 구조를 통해 향상할 수 있음을 나타낸다.