Temperature Influence on Adsorption and Desorption of Organic Molecules on Silicon Surface / シリコン表面上の有機物吸着・脱離に対する温度の影響
- Resource Type
- Journal Article
- Source
- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts. 2018, :2786
- Subject
21p-135-9 Adsorption and desorption Organic matter Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション Temperature 半導体 吸着・解離過程 吸着脱離 有機物 温度 - Language
- Japanese
- ISSN
- 2436-7613