Nanotechnology, 32(2) Nanotechnology Nanotechnology (Bristol, Online) (2021). doi:10.1088/1361-6528/abbdda info:cnr-pdr/source/autori:Chiara Barri, Erfan Mafakheri, Luca Fagiani, Giulio Tavani, Andrea Barzaghi, Daniel Chrastina, Alexey Fedorov, Jacopo Frigerio, Mario Lodari, Francesco Scotognella, Elisa Arduca, Marco Abbarchi, Michele Perego, Monica Bollani/titolo:Engineering of the spin on dopant process on silicon on insulator substrate/doi:10.1088%2F1361-6528%2Fabbdda/rivista:Nanotechnology (Bristol, Online)/anno:2021/pagina_da:/pagina_a:/intervallo_pagine:/volume Nanotechnology, 2020, 32 (2), pp.025303